六氟化(hua)硫，化(hua)學式為(wei)SF6，是(shi)一種(zhong)無色、無臭、無毒、不燃的穩定氣(qi)體(ti)，分子量為146.06，在20℃和0.1 MPa時密度(du)為6.1 kg/m3，約為空氣密度的5倍(bei)，六氟化硫(liu)在常溫常壓(ya)下為氣態。目前(qian)國內使用的氣體種類分為工(gong)(gong)業六氟化硫以及電子(zi)工(gong)(gong)業用氣體六氟化硫，主要(yao)區別在于純度及雜質的要(yao)求，如下(xia)所示(shi)：
執(zhi)行標準：
GB/T 12022-2014《工業六氟(fu)化硫》
GB/T18867-2014《電子工業用氣(qi)體 六(liu)氟化硫》
國內哪里可以檢測六氟化硫純度？什么機構可以檢測六氟化硫？國家重點檢測機構，氣體檢測實驗室提供各種氣體檢測項目，可打官司。檢測項目：純度檢測，雜質分析，固體顆粒等。江蘇科海檢驗可全國范圍內上門取樣，3個工作即可出報告！
GB/T 12022-2014《工業(ye)六氟化硫(liu)》
檢測指標(biao) | 單位 | 標準(zhun)限值 |
六氟(fu)化硫（SF6）純(chun)度 | 10-2(m/m) | ≥99.9 |
空氣（O2+N2）含量 | 10-6(m/m) | ≤300 |
四氟化碳（CF4）含量 | 10-6(m/m) | ≤100 |
六(liu)氟乙烷（C2F6）含量(liang) | 10-6(m/m) | ≤200 |
八氟(fu)丙(bing)烷（C3F8）含(han)量 | 10-6(m/m) | ≤50 |
水分(fen)（H2O）含(han)量 | 10-6(m/m) | ≤5 |
酸度（以HF計(ji)） | 10-6(m/m) | ≤0.2 |
可水解氟化物 （以HF計）含(han)量(liang) | 10-6(m/m) | ≤1 |
礦(kuang)物(wu)油(you)含量 | 10-6(m/m) | ≤4 |
毒性 | / | 生(sheng)物無毒(du)試驗(yan) |
GB/T18867-2014《電子工(gong)業用(yong)氣體(ti) 六氟化硫》
檢測指標 | 單位(wei) | 標準限(xian)值 |
六氟化硫（SF6）純度 | 10-2(v/v) | ≥99.999 |
（氧+氬）（O2+Ar）含量(liang) | 10-6(v/v) | ≤2.0 |
氮（N2）含量 | 10-6(v/v) | ≤2.0 |
四氟化碳（CF4）含量 | 10-6(v/v) | ≤1.0 |
一氧(yang)化碳（CO）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
二氧化碳（CO2）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
甲烷（CH4）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
水(shui)分（H2O）含量(liang) | 10-6(v/v) | ≤3.0 |
酸度(du)（以(yi)HF計） | 10-6(v/v) | ≤0.1 |
可水(shui)解氟(fu)化(hua)物 （以HF計）含量(liang) | 10-6(v/v) | ≤8 |
總雜質含量 | 10-6(v/v) | ≤10.0 |
顆粒 | / | 供需雙方協(xie)商(shang) |
